美國(guó)萊特浩斯HPC1100高壓控制器優(yōu)點(diǎn)和應(yīng)用范圍

美國(guó)萊特浩斯HPC1100高壓控制器優(yōu)點(diǎn)和應(yīng)用范圍  產(chǎn)品介紹：

HPC 1100 高壓控制器采用的新設(shè)計(jì)理念和技術(shù)，與萊特浩斯 0.1μm 的粒子計(jì)數(shù)器配合，監(jiān)測(cè)高壓環(huán)境（30 到 150PSI）下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。

應(yīng)用：

過(guò)程認(rèn)證

半導(dǎo)體工藝監(jiān)測(cè)

平板過(guò)程監(jiān)控

過(guò)程趨勢(shì)分析

優(yōu)點(diǎn)：

在正常操作期間零浪費(fèi)惰性氣體

輸出壓力接近大氣壓力

低噪聲

小尺寸

易于系統(tǒng)集成

支持0.1μm靈敏度、1立方英尺流量（28.3L/min)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器

可用于任何惰性氣體

容易設(shè)置

安裝簡(jiǎn)單

前裝式流量計(jì)

直觀的用戶控制

安靜的操作

快速吹掃和清理

內(nèi)部和外部VCR接頭

不銹鋼結(jié)構(gòu)

技術(shù)參數(shù)：

氣體粒徑范圍：0.1μm或更大的

流量范圍：1立方英尺(28.3L/min)

輸出壓力: 接近大氣壓

輸入壓力：30-150 psi

兼容的氣體：氮，氬，氦，CDA

運(yùn)行時(shí)的噪聲水平：< 60分貝

外殼：不銹鋼